用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构及其制备方法

发明专利无效专利

申请号：
CN00105555.0
IPC分类号：--
申请日期：
2000-03-31
申请人：
清华大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构及其制备方法
申请号	CN00105555.0	申请日期	2000-03-31
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2000-08-30	公开/公告号	CN1265000
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	清华大学	申请人地址	北京市海淀区清华园变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学	当前权利人	清华大学
发明人	任天令;张林涛;李志坚;刘理天
代理机构	北京清亦华专利事务所	代理人	罗文群

摘要

本发明涉及用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构及其制备方法，首先在单晶硅衬底淀积一层氮化硅，硅衬底背面腐蚀，形成背腔，在氮化硅上淀积一层二氧化硅，射频磁控溅射金属Pt/Ti层，再光刻金属Pt/Ti层，以形成底层电极；用溶胶-凝胶法在Pt/Ti层上制备PZT铁电薄膜，在PZT铁电薄膜上制备顶层电极，去除其中一侧，即为本发明的悬臂式振膜结构。采用本发明制备的悬臂式振膜结构，集成微麦克风和扬声器，其灵敏度和声输出有了明显提高。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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