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硼氮共掺纳米基定向金刚石薄膜的制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410138529.X
  • IPC分类号:C23C16/30
  • 申请日期:
    2014-04-08
  • 申请人:
    上海交通大学;上海交友钻石涂层有限公司;苏州交钻纳米超硬薄膜有限公司
著录项信息
专利名称硼氮共掺纳米基定向金刚石薄膜的制备方法
申请号CN201410138529.X申请日期2014-04-08
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日2014-07-23公开/公告号CN103938182A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/30IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;3;0查看分类表>
申请人上海交通大学;上海交友钻石涂层有限公司;苏州交钻纳米超硬薄膜有限公司申请人地址
上海市闵行区东川路800号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海交通大学,上海交友钻石涂层有限公司,苏州交钻纳米超硬薄膜有限公司当前权利人上海交通大学,上海交友钻石涂层有限公司,苏州交钻纳米超硬薄膜有限公司
发明人王亮;孙方宏;张文骅;沈彬;郭睿;张志明;郭松寿
代理机构上海汉声知识产权代理有限公司代理人牛山;陈少凌
摘要
本发明公开了一种硼氮共掺纳米基定向金刚石薄膜的制备方法;以热丝CVD装置为沉积设备,在传统的氢气与丙酮反应体系中加中含硼及含氮化合物,形成共掺杂体系,调节反应工艺参数,制备出纳米金刚石颗粒与定向金刚石颗粒共存的薄膜。该方法工艺流程简单,获得的薄膜具有比随机取向微米级金刚石薄膜平整的表面,耐磨损性高且均一,易抛光、内应力低以及膜基附着力高等特点。

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