一种三氯氢硅生产方法及其应用

发明专利有效专利

申请号：
CN201810983500.X
IPC分类号：C01B33/107
申请日期：
2018-08-27
申请人：
亚洲硅业（青海）有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司

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专利名称	一种三氯氢硅生产方法及其应用
申请号	CN201810983500.X	申请日期	2018-08-27
法律状态	暂无	申报国家	暂无
公开/公告日	2018-12-21	公开/公告号	CN109052410A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B33/107 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B33/00 硅；其化合物（C01B 21/00，C01B 23/00优先；过硅酸盐入 C01B 15/14；碳化物入C01B32/956）〔1，3，2006.01〕 C01B33/08 含卤素的化合物 C01B33/107 卤化硅烷〔3〕	IPC分类号	C;0;1;B;3;3;/;1;0;7查看分类表>
申请人	亚洲硅业（青海）有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司	申请人地址	青海省西宁市城东经济技术开发区金硅路1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	青海省亚硅硅材料工程技术有限公司,亚洲硅业（青海）股份有限公司	当前权利人	青海省亚硅硅材料工程技术有限公司,亚洲硅业（青海）股份有限公司
发明人	王体虎;宗冰;张宝顺
代理机构	北京超凡志成知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	杨志廷

摘要

本发明涉及多晶硅制备技术领域，公开了一种三氯氢硅生产方法及其应用。在三氯氢硅生产方法中，采用两级气固分离。第一气固分离步骤能够将细硅粉排出至四氯化硅低温氢化炉外，第二气固分离步骤将排出氢化炉外的细硅粉作为三氯氢硅合成步骤的原料，解决了传统工艺中细硅粉被浪费的问题，可以实现硅粉的高度利用。这样，即可以保持低温氢化反应中四氯化硅的高转化率，也可以保证硅粉的利用率，同时还可以降低尾气中的硅粉含量，进而可以减缓最终尾气分离回收时的处理压力，能够避免管道结垢和堵塞问题。本发明实施例中的三氯氢硅生产方法能够应用于多晶硅的生产中。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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