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一种用于测试SEM实验中的硅片保护装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201420028837.2
  • IPC分类号:H01L21/66;H01L21/67
  • 申请日期:
    2014-01-16
  • 申请人:
    宿州学院
著录项信息
专利名称一种用于测试SEM实验中的硅片保护装置
申请号CN201420028837.2申请日期2014-01-16
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/66IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;6;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人宿州学院申请人地址
安徽省宿州市汴河中路49号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人宿州学院当前权利人宿州学院
发明人郭焕银;刘宁;郭凯;曹保银;邵毅;许海峰;唐永刚;王桂英;朱光
代理机构安徽合肥华信知识产权代理有限公司代理人余成俊
摘要
本实用新型公开了一种用于测试SEM实验中的硅片保护装置,包括有盒子以及与盒子配套的盖子,盒子内中部固定有一个筒体,盒子中置有一个圆形铜片,圆形铜片的下端面中部固定安装有一个小圆柱体,小圆柱体插在所述的筒体中,圆形铜片上端面上环设有多个硅片,硅片粘在圆形铜片上。本实用新型在使用过程中,直接将不同规格的硅片分别粘于铜片上并连同铜片一起放在盒子中,需要对硅片进行测试时,直接用手捏着或用镊子夹着铜片上的小圆柱体将其取出并放在测试装置中即可,避免污染,使用方便可靠。

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