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精细金属掩模制造方法及发光元件制造用精细金属掩模

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201880021845.5
  • IPC分类号:H01L51/00C23C14/04H01L51/50
  • 申请日期:
    2018-04-05
  • 申请人:
    创造未来有限公司
著录项信息
专利名称精细金属掩模制造方法及发光元件制造用精细金属掩模
申请号CN201880021845.5申请日期2018-04-05
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2019-11-26公开/公告号CN110506342A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L51/00IPC分类号H01L51/00;C23C14/04;H01L51/50查看分类表>
申请人创造未来有限公司申请人地址
韩国忠清南道*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人创造未来有限公司当前权利人创造未来有限公司
发明人宋文燮;金领善
代理机构北京铭硕知识产权代理有限公司代理人李盛泉;孙昌浩
摘要
提出一种降低了材料成本并提高了生产性的精细金属掩模制造方法。根据本发明的精细金属掩模制造方法包括:准备包括精细金属掩模框架的制造基板的步骤;以及在精细金属掩模框架的至少一部分暴露于外部的制造面镀覆用于精细金属掩模的金属层的镀覆步骤。

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