一种晶圆测试探针卡管理系统及其使用方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201310354739.8
IPC分类号：G06Q10/06;G06Q50/04;G01R1/073
申请日期：
2013-08-14
申请人：
上海华力微电子有限公司

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著录项信息

专利名称	一种晶圆测试探针卡管理系统及其使用方法
申请号	CN201310354739.8	申请日期	2013-08-14
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2013-11-20	公开/公告号	CN103400238A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G06Q10/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G06 计算；推算；计数 G06Q 专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法〔8〕 G06Q10/00 行政；管理〔8，2012.01〕 G06Q10/06 资源、工作流、人员或项目管理，例如组织、规划、调度或分配时间、人员或机器资源；企业规划；组织模型〔2012.01〕	IPC分类号	G;0;6;Q;1;0;/;0;6;;;G;0;6;Q;5;0;/;0;4;;;G;0;1;R;1;/;0;7;3查看分类表>
申请人	上海华力微电子有限公司	申请人地址	上海市浦东新区高科技园区高斯路568号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海华力微电子有限公司	当前权利人	上海华力微电子有限公司
发明人	莫保章;邵雄;席与凌
代理机构	上海思微知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	陆花

摘要

本发明提供一种晶圆测试探针卡管理系统及其使用方法，通过分类单元对各探针卡分类；通过状态管理单元实时监控和管理各探针卡的各种状态；通过分发单元对待处理的探针卡进行检查，若待处理的探针卡适合使用，则将所述待处理的探针卡送入晶圆生产线并将所述待处理的探针卡的状态切换至使用状态；若待处理的探针卡不合适使用，则根据所述待处理的探针卡的状态将所述待处理的探针卡送入指定流程并切换所述待处理的探针卡的状态。因而本发明实质上提供了一种从探针卡的建立、使用到使用结束甚至报废过程的管理方案，管理过程中系统自动判断探针卡条件后再开始生产，取代了人工管理方式，避免了人为判断耗时耗力以及容易出错的问题，提高了工业效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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