加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

固体激光剥离和切割一体化设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200910136458.9
  • IPC分类号:H01L21/304;H01L21/78;B28D5/04;B23K26/00
  • 申请日期:
    2009-05-08
  • 申请人:
    东莞市中镓半导体科技有限公司
著录项信息
专利名称固体激光剥离和切割一体化设备
申请号CN200910136458.9申请日期2009-05-08
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2010-11-10公开/公告号CN101882578A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/304
?
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;0;4;;;H;0;1;L;2;1;/;7;8;;;B;2;8;D;5;/;0;4;;;B;2;3;K;2;6;/;0;0查看分类表>
申请人东莞市中镓半导体科技有限公司申请人地址
广东省东莞市企石镇科技工业园 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东莞市中镓半导体科技有限公司当前权利人东莞市中镓半导体科技有限公司
发明人张国义;杨欣荣;何明坤;孙永健
代理机构北京市浩天知识产权代理事务所代理人许志勇
摘要
本发明提供了一种兼具固体激光剥离功能和激光切割功能的一体化新型设备,其中包括固体激光器,光束整形镜,扩束镜,振镜电机,振镜镜片、场镜和机器视觉系统,还包括移动平台和工控电脑及控制软件。本发明以固体激光器为激光光源,激光器下方是光束整形镜,扩束镜,振镜镜片,振镜电机和场镜,光束整形镜位于激光器之后,将激光器发出的激光束整形为本发明所需的光束形状。振镜电机位于场镜之前,依控制软件发出的指令控制振镜镜片的动作,从而实现光束的运动控制,完成多种不同的扫描路径。本发明具有GaN和蓝宝石衬底的无损剥离和对剥离后的芯片的切割双重功能。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供