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*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

一种新型的硅片下片机

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201720872851.4
  • IPC分类号:H01L31/18;H01L21/677
  • 申请日期:
    2017-07-18
  • 申请人:
    杭州研卓智能科技有限公司
著录项信息
专利名称一种新型的硅片下片机
申请号CN201720872851.4申请日期2017-07-18
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/18IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人杭州研卓智能科技有限公司申请人地址
浙江省杭州市余杭区余杭经济技术开发区泰极路3号C403 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人杭州研卓智能科技有限公司当前权利人杭州研卓智能科技有限公司
发明人赵刚;沈杰
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型公开了一种新型的硅片下片机,包括机架,机架上安装有空花篮输送线、满花篮输送线、硅片输送线、空硅片盒输送线、满硅片盒输送线和触摸屏控制器,空花篮输送线位于满花篮输送线的下方,满硅片盒输送线位于空硅片盒输送线的下方;满花篮输送线和硅片输送线之间安装有花篮提升机构;硅片输送线上方架设有硅片旋转机构;硅片输送线和空硅片盒输送线之间安装有硅片盒提升机构和硅片抓取机构。本实用新型的一种新型的硅片下片机具有采用伯努利吸盘制造的硅片旋转机构和硅片抓取机构,由于采用伯努利吸盘悬浮式吸附硅片进行转移,吸盘与硅片不直接接触,大大减少了硅片的受损几率,提高了成品合格率,进而大大提高了工作效率。

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