基于波像差的光学系统各光学件面形的检测方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201310294761.8
IPC分类号：G01B11/24
申请日期：
2013-07-15
申请人：
中国科学院光电技术研究所

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	基于波像差的光学系统各光学件面形的检测方法
申请号	CN201310294761.8	申请日期	2013-07-15
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2013-09-25	公开/公告号	CN103322942A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;4查看分类表>
申请人	中国科学院光电技术研究所	申请人地址	四川省成都市双流350信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院光电技术研究所	当前权利人	中国科学院光电技术研究所
发明人	李恋;马天梦;王彬;古斌
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	梁爱荣

摘要

本发明是一种基于波像差的光学系统各光学件面形的检测方法，包括步骤S1：将光学系统各元件进行粗装调，使光学系统波像差能被波像差检测装置有效检测；步骤S2：对各光学元件的空间位置进行调整，测量各位置状态下光学系统的波像差，并记录；步骤S3：将记录的光学元件位置状态及对应的光学系统波像差输入处理器，计算各光学元件的面形。本发明通过检测光学系统的波像差，来确定光学系统中各光学件的面形，装配阶段通过最终测量的光学系统波像差，获得光学系统各光学件的面形数据，可用于消除面形误差产生的系统波像差。适用于面形数据不能准确测量的光学系统，避免面形数据检测误差造成后续装调过程中的不当操作，提高光学系统的成像质量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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