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基于波像差的光学系统各光学件面形的检测方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201310294761.8
  • IPC分类号:G01B11/24
  • 申请日期:
    2013-07-15
  • 申请人:
    中国科学院光电技术研究所
著录项信息
专利名称基于波像差的光学系统各光学件面形的检测方法
申请号CN201310294761.8申请日期2013-07-15
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2013-09-25公开/公告号CN103322942A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01B11/24IPC分类号G;0;1;B;1;1;/;2;4查看分类表>
申请人中国科学院光电技术研究所申请人地址
四川省成都市双流350信箱 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院光电技术研究所当前权利人中国科学院光电技术研究所
发明人李恋;马天梦;王彬;古斌
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人梁爱荣
摘要
本发明是一种基于波像差的光学系统各光学件面形的检测方法,包括步骤S1:将光学系统各元件进行粗装调,使光学系统波像差能被波像差检测装置有效检测;步骤S2:对各光学元件的空间位置进行调整,测量各位置状态下光学系统的波像差,并记录;步骤S3:将记录的光学元件位置状态及对应的光学系统波像差输入处理器,计算各光学元件的面形。本发明通过检测光学系统的波像差,来确定光学系统中各光学件的面形,装配阶段通过最终测量的光学系统波像差,获得光学系统各光学件的面形数据,可用于消除面形误差产生的系统波像差。适用于面形数据不能准确测量的光学系统,避免面形数据检测误差造成后续装调过程中的不当操作,提高光学系统的成像质量。

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