大型基板载物台

发明专利无效专利

申请号：
CN200410008550.4
IPC分类号：--
申请日期：
2004-03-24
申请人：
奥林巴斯株式会社

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	大型基板载物台
申请号	CN200410008550.4	申请日期	2004-03-24
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2004-09-29	公开/公告号	CN1532534
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	奥林巴斯株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	奥林巴斯株式会社	当前权利人	奥林巴斯株式会社
发明人	安田守;藤崎畅夫
代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	胡建新

摘要

本发明提供一种大型基板载物台，其结构是：对设置了驱动部(7)的主轴侧移动工作台(10)、从动侧移动工作台(12)和主动-从动工作台结合件(14)进行结合，其中对主轴侧移动工作台(10)，通过旋转轴(15)来对检测基板固定支架(16)进行轴支承，而且，在该检测基板固定支架(16)和从动侧移动工作台(12)之间插入传动件(21)。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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