三氯氢硅合成炉氢气压料、吹扫清理硅粉装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201220010759.4
IPC分类号：C01B33/107
申请日期：
2012-01-11
申请人：
亚洲硅业（青海）有限公司

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专利名称	三氯氢硅合成炉氢气压料、吹扫清理硅粉装置
申请号	CN201220010759.4	申请日期	2012-01-11
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B33/107 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B33/00 硅；其化合物（C01B 21/00，C01B 23/00优先；过硅酸盐入 C01B 15/14；碳化物入C01B32/956）〔1，3，2006.01〕 C01B33/08 含卤素的化合物 C01B33/107 卤化硅烷〔3〕	IPC分类号	C;0;1;B;3;3;/;1;0;7查看分类表>
申请人	亚洲硅业（青海）有限公司	申请人地址	青海省西宁市城东经济技术开发区金硅路1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	亚洲硅业（青海）有限公司,亚洲硅业(青海)股份有限公司	当前权利人	亚洲硅业（青海）有限公司,亚洲硅业(青海)股份有限公司
发明人	郑连基;王振荣;盛长海;许保红;王体虎
代理机构	西宁金语专利代理事务所	代理人	哈庆华

摘要

三氯氢硅合成炉氢气压料、吹扫清理硅粉装置，本实用新型涉及一种三氯氢硅合成炉压料及硅粉收集器反吹方式的氢气压料、吹扫清理硅粉装置，应用于多晶硅制造。其特点是氢气储罐（8）经第一氢气管线（9）连接至硅粉加料器（13）的下部，硅粉加料器（13）的下端经第一压料管线（15）连接至三氯氢硅合成炉（16）的入口，三氯氢硅合成炉（16）的出口经氯硅烷管线（21）连接至旋风分离器（20）的入口，旋风分离器（20）的下端连接至硅粉收集器（19），硅粉收集器（19）的出口经第二压料管线（17）连接至三氯氢硅合成炉（16）的入口；第二氢气管线（2）经第三压料管线（22）连接至硅粉收集器（19）的入口。

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