自动水平式硅基薄膜生产装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201010300663.7
IPC分类号：C23C16/24;C23C16/54
申请日期：
2010-01-25
申请人：
威海中玻光电有限公司

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著录项信息

专利名称	自动水平式硅基薄膜生产装置
申请号	CN201010300663.7	申请日期	2010-01-25
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2010-06-23	公开/公告号	CN101748379A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C16/24 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C16/00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积（CVD）工艺（反应溅射或真空蒸发入C23C 14/00）〔4〕 C23C16/22 以沉积金属材料以外之无机材料为特征的〔4〕 C23C16/24 仅沉积硅〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;6;/;2;4;;;C;2;3;C;1;6;/;5;4查看分类表>
申请人	威海中玻光电有限公司	申请人地址	山东省威海市临港经济技术开发区草庙子镇棋山路-516-39号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	威海中玻新材料技术研发有限公司	当前权利人	威海中玻新材料技术研发有限公司
发明人	解欣业;王伟;史国华;刘先平;邓晶
代理机构	威海科星专利事务所	代理人	于涛

摘要

本发明涉及太阳能的应用领域，具体地说是一种自动水平式硅基薄膜生产装置，其特征在于由加热段、真空过渡段1、沉积段、真空过渡段2、冷却段组成，自动闸板阀装于各工作室之间，加热段和冷却段为非真空段，沉积段由数个沉积模块构成，每个沉积模块均由沉积室、真空过渡室、传动装置、位置测量装置、真空获得装置、配气装置和排气装置组成，两个沉积室对称或不对称地分布在真空过渡室的两侧，每一个沉积室分别与一台工艺干泵相连，沉积室和真空过渡室共用一套真空获得装置，沉积模块两端均设有尺寸和形状完全相同或相互配合的连接装置，通过连接装置将数个平行排列的沉积模块连接起来形成一个连续镀膜的沉积段，本装置可以根据镀膜工艺和产能设计的不同要求增减沉积模块的数量，其适用范围广，生产效率高，维护维修方便。

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