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LED晶圆扩张翻边装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201911347277.0
  • IPC分类号:H01L21/683;H01L33/48
  • 申请日期:
    2019-12-24
  • 申请人:
    苏州展德自动化设备有限公司
著录项信息
专利名称LED晶圆扩张翻边装置
申请号CN201911347277.0申请日期2019-12-24
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-04-10公开/公告号CN110993554A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/683IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;3;;;H;0;1;L;3;3;/;4;8查看分类表>
申请人苏州展德自动化设备有限公司申请人地址
江苏省苏州市工业园区杏林街98号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州展德自动化设备有限公司当前权利人苏州展德自动化设备有限公司
发明人狄建科;秦松;刘雪;胡斌
代理机构江苏圣典律师事务所代理人暂无
摘要
本发明涉及LED晶圆扩张翻边装置,包括直线驱动机构以及连接于其上的晶圆扩张机构,晶圆扩张机构包含连接固定板和支撑架,支撑架上固定一底板,底板上竖立安装有导向柱,中部安装有丝杠支座,丝杠支撑于丝杠支座上,升降板套置于导向柱上,升降板的中部安装有与丝杠相旋配的螺母,升降板上固定一支撑柱,支撑柱的顶端连接固定盘,固定盘上开设有容纳槽,加热盘置于容纳槽内,固定盘的边缘部设有环形凹槽,膜片撑环嵌入环形凹槽中,固定盘上安装扩晶盘,扩晶盘的外缘设有用于容纳内环的限位台阶部,导向柱的顶端安装有扩晶载板,其上安装有旋转压紧机构。自动化实现扩晶后翻边,使扩晶后的膜片长时间保持张力不变,扩晶效率高,效果好。

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