微机电系统MEMS装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201920450504.1
IPC分类号：G01C19/56
申请日期：
2019-04-04
申请人：
美国亚德诺半导体公司

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著录项信息

专利名称	微机电系统MEMS装置
申请号	CN201920450504.1	申请日期	2019-04-04
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01C19/56 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01C 测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学（液体水平面的测量入G01F；无线电导航，通过利用无线电波的传播效应，例如多普勒效应，传播时间来测定距离或速度，利用其他波的类似装置入G01S） G01C19/00 陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率〔1，2013.01〕 G01C19/56 使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器〔1，2012.01〕	IPC分类号	G;0;1;C;1;9;/;5;6查看分类表>
申请人	美国亚德诺半导体公司	申请人地址	美国马萨诸塞州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	美国亚德诺半导体公司	当前权利人	美国亚德诺半导体公司
发明人	J·A·格雷戈里;C·布莱克莫尔
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	欧阳帆

摘要

本公开涉及微机电系统MEMS装置。描述了配置为拒绝正交运动的微机电系统(MEMS)装置(例如陀螺仪器)。正交运动例如在陀螺仪的驱动运动即使在没有角运动的情况下耦合到陀螺仪的感测运动时也会出现。在某些情况下，正交运动可能是因为陀螺仪中使用的弹簧具有倾斜侧壁，这可以在陀螺仪的机械结构中赋予扭矩。本文描述的类型的MEMS陀螺仪可以被配置为通过仅使用基本平行于驱动方向定向的弹簧来拒绝正交运动。一种这样的弹簧仅包括与驱动方向平行的梁并且是可选的。这些MEMS陀螺仪可以用于感测滚动和俯仰角速率等。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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