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估计衬底的参数

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201980031932.3
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2019-04-02
  • 申请人:
    ASML荷兰有限公司
著录项信息
专利名称估计衬底的参数
申请号CN201980031932.3申请日期2019-04-02
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-12-25公开/公告号CN112136082A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人ASML荷兰有限公司申请人地址
荷兰维德霍温 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人ASML荷兰有限公司当前权利人ASML荷兰有限公司
发明人S·P·马托瓦;J·S·维尔登贝尔格;R·沃克曼;L·罗曼
代理机构北京市金杜律师事务所代理人暂无
摘要
一种用于跨衬底上的区域估计参数的方法,该区域被划分为多个子区域,该方法包括获得针对多个子区域中至少两个子区域的参数的值;以及通过评估将参数的值作为输入值的函数,来估计针对区域上的位置的参数,其中a)函数包括分段定义的基函数,其中跨子区域定义单个基函数;以及b)函数在包含于区域内的至少两个子区域的一个或多个相邻子区域之间是连续的。

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