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一种抑制石英容器对磷化铟熔体污染的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201710819817.5
IPC分类号：C30B29/40;C30B28/06
申请日期：
2017-09-13
申请人：
南京金美镓业有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种抑制石英容器对磷化铟熔体污染的方法
申请号	CN201710819817.5	申请日期	2017-09-13
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2018-01-19	公开/公告号	CN107604440A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B29/40 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B29/00 以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料〔3，5〕 C30B29/10 无机化合物或组合物〔3〕 C30B29/40 AⅢBv化合物〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;9;/;4;0;;;C;3;0;B;2;8;/;0;6查看分类表>
申请人	南京金美镓业有限公司	申请人地址	辽宁省朝阳市喀左经济开发区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	朝阳金美镓业有限公司	当前权利人	朝阳金美镓业有限公司
发明人	范家骅;乔印彬;邱才涌;卢宁
代理机构	南京科知维创知识产权代理有限责任公司	代理人	杜依民

摘要

本发明公开了一种抑制石英容器对磷化铟熔体污染的方法，用扩散法合成磷化铟时，在密封的石英容器中放置磷和金属铟，在2.5小时内将磷蒸汽压力升到27.5大气压，将金属铟加热到1090℃，加快反应速度，可合成致密的磷化铟多晶锭。生成的磷化铟多晶锭载流子浓度均在1015cm‑3范围内。

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