一种原子级清洁转移石墨烯的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201310362356.5
IPC分类号：C01B31/04
申请日期：
2013-08-19
申请人：
中国科学院化学研究所

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著录项信息

专利名称	一种原子级清洁转移石墨烯的方法
申请号	CN201310362356.5	申请日期	2013-08-19
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2013-12-18	公开/公告号	CN103449418A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B31/04 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B31/04 （转入C01B 32/182-C01B 32/23）	IPC分类号	C;0;1;B;3;1;/;0;4查看分类表>
申请人	中国科学院化学研究所	申请人地址	北京市海淀区中关村北一街2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院化学研究所	当前权利人	中国科学院化学研究所
发明人	王栋;李景;万立骏
代理机构	北京庆峰财智知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	刘元霞

摘要

本发明公开一种CVD石墨烯的高效转移和获取原子级清洁表面的方法，其包括如下步骤：在石墨烯/金属基底表面旋涂一层PMMA溶液，待其固化后通过(NH4)2S2O8溶液腐蚀除去金属基底，石墨烯/PMMA清洗后用目标基底捞起干燥，然后选用有机酸溶剂溶解PMMA层，最后通过高温退火方式进一步除去石墨烯表面残留PMMA，从而获取原子级清洁的石墨烯表面。本发明提供的石墨烯表面面积大，结构完整，缺陷和PMMA残留少。本发明所提供的方法PMMA残留极少，更容易获取原子级清洁的表面。该方法所获取的石墨烯适用于构筑电子器件如场效应晶体管、发光二极管、透明电极等，亦可用于表界面的理论研究。

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