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一种传输装置及半导体加工设备

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201410230510.8
  • IPC分类号:H01L21/677
  • 申请日期:
    2014-05-28
  • 申请人:
    北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
著录项信息
专利名称一种传输装置及半导体加工设备
申请号CN201410230510.8申请日期2014-05-28
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2015-11-25公开/公告号CN105097625A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/677IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司申请人地址
北京经济技术开发区文昌大道8号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京北方华创微电子装备有限公司当前权利人北京北方华创微电子装备有限公司
发明人宗令蓓
代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司代理人彭瑞欣;张天舒
摘要
本发明涉及一种传输装置及半导体加工设备,本发明提供的传输装置包括用于传输晶片的机械手,该机械手包括本体,本体具有用于承载晶片的承载面,且在承载面上覆盖有绝缘层,并且在绝缘层内埋设有电极层,电极层包括采用导电材料制作的正电极和负电极。上述传输装置可以将晶片牢固地固定在机械手的承载面上,防止晶片与机械手之间产生相对滑动;还使晶片与机械手之间不产生摩擦,从而避免了颗粒的产生,不会对腔室造成污染。

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