著录项信息
专利名称 | 一种防掉片型硅晶片置中装置 |
申请号 | CN202122859874.0 | 申请日期 | 2021-11-19 |
法律状态 | 授权 | 申报国家 | 中国 |
公开/公告日 | | 公开/公告号 | |
优先权 | 暂无 | 优先权号 | 暂无 |
主分类号 | H01L21/677 | IPC分类号 | H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
|
申请人 | 罗博特科智能科技股份有限公司 | 申请人地址 | 江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号
变更
专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效 |
权利人 | 罗博特科智能科技股份有限公司 | 当前权利人 | 罗博特科智能科技股份有限公司 |
发明人 | 吴廷斌;张学强;张建伟;罗银兵;葛聪 |
代理机构 | 暂无 | 代理人 | 暂无 |
摘要
本实用新型涉及硅晶片加工附属装置的技术领域,特别是涉及一种防掉片型硅晶片置中装置,其结构简单,采用伺服电机带动两块夹板进行同步动作,将硅晶片置中,提高加工效率,降低使用者劳动强度;包括固定在硅晶片传输轨道下方框架上的固定板,固定板上固定有主轴承座和副轴承座,主轴承座和副轴承座上转动安装有丝杆,丝杆上开设旋向相反的正螺纹和反螺纹,并在主轴承座上固定有驱动丝杆旋转的伺服电机,正螺纹和反螺纹上均螺纹连接有滑动架,固定板两侧均固定有限位架,滑动架与限位架滑动配合,滑动架上安装有置中机构,两组置中机构呈对称状,置中机构包括与滑动架固定连接的基板,基板的另一端固定有竖板。
1.一种防掉片型硅晶片置中装置,其特征在于,包括固定在硅晶片传输轨道下方框架上的固定板(1),固定板(1)上固定有主轴承座(2)和副轴承座(3),主轴承座(2)和副轴承座(3)上转动安装有丝杆(4),丝杆(4)上开设旋向相反的正螺纹和反螺纹,并在主轴承座(2)上固定有驱动丝杆(4)旋转的伺服电机(5),正螺纹和反螺纹上均螺纹连接有滑动架(6),固定板(1)两侧均固定有限位架(7),滑动架(6)与限位架(7)滑动配合,滑动架(6)上安装有置中机构,两组置中机构呈对称状,所述置中机构包括与滑动架(6)固定连接的基板(8),基板(8)的另一端固定有竖板(9),竖板(9)的另一端固定有呈L型的调节板一(10),调节板一(10)上固定有调节板二(11),调节板二(11)上固定有置中条(12)。
2.如权利要求1所述的一种防掉片型硅晶片置中装置,其特征在于,所述调节板一(10)上开设两个长条孔一(13),竖板(9)上开设与长条孔一(13)一一对应的预留孔一,每个长条孔一(13)以及预留孔一处均安装有螺栓、螺母以及垫片。
3.如权利要求2所述的一种防掉片型硅晶片置中装置,其特征在于,所述调节板二(11)上开设两个长条孔二(14),竖板(9)上开设与长条孔二(14)一一对应的预留孔二,每个长条孔二(14)以及预留孔二处均安装有螺栓、螺母以及垫片。
4.如权利要求3所述的一种防掉片型硅晶片置中装置,其特征在于,所述置中机构还包括呈L型的加强板(15),加强板(15)固定在竖板(9)和基板(8)上。
5.如权利要求4所述的一种防掉片型硅晶片置中装置,其特征在于,所述固定板(1)上固定有呈L型的挡板(16),挡板(16)遮挡住丝杆(4)。
6.如权利要求5所述的一种防掉片型硅晶片置中装置,其特征在于,位于一侧的限位架(7)上固定有机架(17),机架(17)上安装有两个到位传感器(18),并在其中一个滑动架(;6)上安装有与到位传感器(18)配合的挡片(19)。
一种防掉片型硅晶片置中装置\n技术领域\n[0001] 本实用新型涉及硅晶片加工附属装置的技术领域,特别是涉及一种防掉片型硅晶片置中装置。\n背景技术\n[0002] 硅晶片又称晶圆片,是由硅锭加工而成的,通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管,被广泛应用于集成电路的制造。\n[0003] 在光伏行业中,制绒上下料、刻蚀等工序中会将硅晶片使用传输轨道由某个位置传输至其他位置上,现有技术中,在硅晶片运输过程中,多采用手动的方式对硅晶片进行居中,使硅晶片更好的进行后续处理,这种方式效率不高,置中度较差,并且增加了使用者的劳动强度,因此提出一种防掉片型硅晶片置中装置来解决上述问题。\n实用新型内容\n[0004] 为解决上述技术问题,本实用新型提供一种防掉片型硅晶片置中装置,其结构简单,采用伺服电机带动两块夹板进行同步动作,将硅晶片置中,提高加工效率,降低使用者劳动强度。\n[0005] 本实用新型的一种防掉片型硅晶片置中装置,包括固定在硅晶片传输轨道下方框架上的固定板,固定板上固定有主轴承座和副轴承座,主轴承座和副轴承座上转动安装有丝杆,丝杆上开设旋向相反的正螺纹和反螺纹,并在主轴承座上固定有驱动丝杆旋转的伺服电机,正螺纹和反螺纹上均螺纹连接有滑动架,固定板两侧均固定有限位架,滑动架与限位架滑动配合,滑动架上安装有置中机构,两组置中机构呈对称状,所述置中机构包括与滑动架固定连接的基板,基板的另一端固定有竖板,竖板的另一端固定有呈L型的调节板一,调节板一上固定有调节板二,调节板二上固定有置中条。\n[0006] 进一步地,所述调节板一上开设两个长条孔一,竖板上开设与长条孔一一一对应的预留孔一,每个长条孔一以及预留孔一处均安装有螺栓、螺母以及垫片。\n[0007] 进一步地,所述调节板二上开设两个长条孔二,竖板上开设与长条孔二一一对应的预留孔二,每个长条孔二以及预留孔二处均安装有螺栓、螺母以及垫片。\n[0008] 进一步地,所述置中机构还包括呈L型的加强板,加强板固定在竖板和基板上。\n[0009] 进一步地,所述固定板上固定有呈L型的挡板,挡板遮挡住丝杆。\n[0010] 进一步地,位于一侧的限位架上固定有机架,机架上安装有两个到位传感器,并在其中一个滑动架上安装有与到位传感器配合的挡片。\n[0011] 与现有技术相比本实用新型的有益效果为:在使用时,固定板固定在硅晶片传输轨道下方框架上,硅晶片沿传输轨道移动至两个置中条之间时,操作伺服电机驱动丝杆旋转,在两个限位架的限位下,使得两个滑动架以及其上的置中条相向移动将硅晶片置中,置中后,反转伺服电机,使两个置中条远离硅晶片,硅晶片继续沿传输轨道继续移动,相对于现有技术来说,本装置可对不同尺寸的硅晶片进行置中,并且安装更加方便,提高了加工效率。\n附图说明\n[0012] 图1是本实用新型的结构示意图;\n[0013] 图2是图1的右前侧俯视立体图;\n[0014] 附图中标记:1、固定板;2、主轴承座;3、副轴承座;4、丝杆; 5、伺服电机;6、滑动架;7、限位架;8、基板;9、竖板;10、调节板一;11、调节板二;12、置中条;13、长条孔一;14、长条孔二;15、加强板;16、挡板;17、机架;18、到位传感器;19、挡片。\n具体实施方式\n[0015] 下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型的范围。\n[0016] 如图1至图2所示,本实用新型的一种防掉片型硅晶片置中装置,包括固定在硅晶片传输轨道下方框架(未示出)上的固定板1,固定板1上固定有主轴承座2和副轴承座3,主轴承座2和副轴承座3上转动安装有丝杆4,丝杆4上开设旋向相反的正螺纹和反螺纹,并在主轴承座2上固定有驱动丝杆4旋转的伺服电机5,正螺纹和反螺纹上均螺纹连接有滑动架\n6,固定板1两侧均固定有限位架7,滑动架6与限位架7滑动配合,滑动架6上安装有置中机构,两组置中机构呈对称状,置中机构包括与滑动架6固定连接的基板8,基板8的另一端固定有竖板9,竖板9的另一端固定有呈L型的调节板一10,调节板一10上固定有调节板二11,调节板二11上固定有置中条12;\n[0017] 在本实施例中,在使用时,固定板1固定在硅晶片传输轨道下方框架上,硅晶片沿传输轨道移动至两个置中条12之间时,操作伺服电机5驱动丝杆4旋转,在两个限位架7的限位下,使得两个滑动架 6以及其上的置中条12相向移动将硅晶片置中,置中后,反转伺服电机5,使两个置中条12远离硅晶片,硅晶片继续沿传输轨道继续移动。\n[0018] 作为上述实施例的优选方案,调节板一10上开设两个长条孔一 13,竖板9上开设与长条孔一13一一对应的预留孔一,每个长条孔一13以及预留孔一处均安装有螺栓、螺母以及垫片(未示出);\n[0019] 在本实施例中,调节板一10通过螺栓、螺母以及垫片固定在竖板9上,并且通过长条孔一13,调节板一10的高度相对于竖板9可进行调节,从而在安装时,可根据硅晶片的高度进行调节,提高实用性。\n[0020] 作为上述实施例的优选方案,调节板二11上开设两个长条孔二 14,竖板9上开设与长条孔二14一一对应的预留孔二,每个长条孔二14以及预留孔二处均安装有螺栓、螺母以及垫片(未示出);\n[0021] 在本实施例中,通过长条孔二14、螺栓、螺母以及垫片,置中条12、调节板二11相对于调节板一10的横向位置可进行调节,从而适应不同尺寸的硅晶片,提高实用性。\n[0022] 作为上述实施例的优选方案,置中机构还包括呈L型的加强板 15,加强板15固定在竖板9和基板8上;\n[0023] 在本实施例中,通过设置的加强板15,将基板8和竖板9连接起来,提高基板8和竖板9的连接可靠性。\n[0024] 作为上述实施例的优选方案,固定板1上固定有呈L型的挡板 16,挡板16遮挡住丝杆4;\n[0025] 在本实施例中,通过设置的挡板16,将丝杆4遮挡住,防止硅片的碎片及碎屑掉落至丝杆4处,发生故障。\n[0026] 作为上述实施例的优选方案,位于一侧的限位架7上固定有机架 17,机架17上安装有两个到位传感器18,并在其中一个滑动架6 上安装有与到位传感器18配合的挡片19;\n[0027] 在本实施例中,到位传感器18相对于机架17的位置可进行调节,调节完毕后,到位传感器18通过螺栓固定在机架17上,挡片19随滑动架6进行移动,当挡片19移动至到位传感器18处时,伺服电机5停止,置中条12将硅晶片夹紧或者置中条12处于停放位置上。\n[0028] 本实用新型的一种防掉片型硅晶片置中装置,其在工作时,固定板1固定在硅晶片传输轨道下方框架上,根据硅晶片的高度以及尺寸,调整调节板一10、调节板二11以及竖板\n9的相对位置,硅晶片沿传输轨道移动至两个置中条12之间时,操作伺服电机5驱动丝杆4旋转,在两个限位架7的限位下,使得两个滑动架6以及其上的置中条12相向移动将硅晶片置中,置中后,反转伺服电机5,使两个置中条12远离硅晶片,硅晶片继续沿传输轨道继续移动。\n[0029] 在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。\n[0030] 以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变型,这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。
引用专利(该专利引用了哪些专利)
序号 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日 | 申请日 | 专利名称 | 申请人 | 该专利没有引用任何外部专利数据! |
被引用专利(该专利被哪些专利引用)
序号 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日 | 申请日 | 专利名称 | 申请人 | 该专利没有被任何外部专利所引用! |