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等离子体源、相应设备和产生等离子体的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201280043726.2
IPC分类号：H01J37/32
申请日期：
2012-08-29
申请人：
欧瑞康贸易股份公司（特吕巴赫）

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	等离子体源、相应设备和产生等离子体的方法
申请号	CN201280043726.2	申请日期	2012-08-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-04-30	公开/公告号	CN103765551A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	欧瑞康贸易股份公司（特吕巴赫）	申请人地址	瑞士普费菲孔变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	欧瑞康表面解决方案股份公司,普费菲孔,欧瑞康表面解决方案股份公司，普费菲孔	当前权利人	欧瑞康表面解决方案股份公司,普费菲孔,欧瑞康表面解决方案股份公司，普费菲孔
发明人	S.克拉斯尼策尔;D.伦迪;J.哈格曼
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	柯广华，胡莉莉

摘要

本发明涉及一种等离子体源，所述等离子体源以漂游的方式布置在真空室处，其中，所述等离子体源包括源壳体并且在所述源壳体中设置有与所述源壳体绝缘地布置的细丝，其中，设置有用于测量源壳体与细丝之间的电位降的装置。所测量的电位降可以用于调节对细丝加热的电压。根据本发明设置相应的装置。

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