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板状构件的移送装置及吸附垫

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201180022261.8
  • IPC分类号:H01L21/677;B65G49/06
  • 申请日期:
    2011-06-06
  • 申请人:
    日本电气硝子株式会社
著录项信息
专利名称板状构件的移送装置及吸附垫
申请号CN201180022261.8申请日期2011-06-06
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2013-01-09公开/公告号CN102870204A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/677IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;B;6;5;G;4;9;/;0;6查看分类表>
申请人日本电气硝子株式会社申请人地址
日本国滋贺县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人日本电气硝子株式会社当前权利人日本电气硝子株式会社
发明人小山范男;桥本隆志
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人张宝荣
摘要
本发明提供一种板状构件的移送装置及吸附垫。所述板状构件的移送装置在利用经由吸附垫而作用的负压对作为板状构件的玻璃板(P)进行吸附保持的状态下,对板状构件进行移送,其中,吸附垫(30)在内表面具有突起(39),在对与玻璃板(P)的表面重合的保护片(B)进行吸附时,突起(39)贯通保护片(B),且在保护片的由突起形成的贯通部分的周围形成通气部(b1),经由该通气部将玻璃板(P)与保护片(B)一起进行吸附保持。

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