基于硅加热器的MEMS甲烷传感器

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201420646931.4
IPC分类号：G01N27/14
申请日期：
2014-10-31
申请人：
中国矿业大学

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著录项信息

专利名称	基于硅加热器的MEMS甲烷传感器
申请号	CN201420646931.4	申请日期	2014-10-31
法律状态	放弃专利权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N27/14 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N27/00 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 25/00优先；电或磁变量的测量或试验，材料的电磁性能的测试或试验入G01R） G01N27/02 通过测试阻抗 G01N27/04 通过测试电阻 G01N27/14 依赖于温度变化的电热体的电阻	IPC分类号	G;0;1;N;2;7;/;1;4查看分类表>
申请人	中国矿业大学	申请人地址	江苏省徐州市大学路1号中国矿业大学科研院变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国矿业大学	当前权利人	中国矿业大学
发明人	马洪宇
代理机构	南京瑞弘专利商标事务所（普通合伙）	代理人	杨晓玲

摘要

一种基于硅加热器的MEMS甲烷传感器，适用于工矿企业中对瓦斯防治时使用。以P型硅为衬底，在所述P型硅衬底上形成N型硅；以所述P型硅衬底上的N型硅加工制备硅加热元件；所述硅加热元件包括两个固定端、硅加热器、两个硅悬臂；该甲烷传感器采用普通的单晶硅硅圆片加工硅加热器，硅加热器同时作为甲烷敏感元件、不需催化剂载体及催化剂材料。该甲烷传感器具有功耗低、灵敏度高、响应速度快、缺乏氧气时不会对甲烷检测产生影响、不受积碳、中毒等因催化剂所带来影响的特点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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