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基于硅加热器的MEMS甲烷传感器

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201420646931.4
  • IPC分类号:G01N27/14
  • 申请日期:
    2014-10-31
  • 申请人:
    中国矿业大学
著录项信息
专利名称基于硅加热器的MEMS甲烷传感器
申请号CN201420646931.4申请日期2014-10-31
法律状态放弃专利权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N27/14IPC分类号G;0;1;N;2;7;/;1;4查看分类表>
申请人中国矿业大学申请人地址
江苏省徐州市大学路1号中国矿业大学科研院 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国矿业大学当前权利人中国矿业大学
发明人马洪宇
代理机构南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)代理人杨晓玲
摘要
一种基于硅加热器的MEMS甲烷传感器,适用于工矿企业中对瓦斯防治时使用。以P型硅为衬底,在所述P型硅衬底上形成N型硅;以所述P型硅衬底上的N型硅加工制备硅加热元件;所述硅加热元件包括两个固定端、硅加热器、两个硅悬臂;该甲烷传感器采用普通的单晶硅硅圆片加工硅加热器,硅加热器同时作为甲烷敏感元件、不需催化剂载体及催化剂材料。该甲烷传感器具有功耗低、灵敏度高、响应速度快、缺乏氧气时不会对甲烷检测产生影响、不受积碳、中毒等因催化剂所带来影响的特点。

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