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一种无电荷注入效应高可靠性电容式射频微机电系统开关

发明专利无效专利

申请号：
CN201110003700.2
IPC分类号：H01H36/00
申请日期：
2011-01-10
申请人：
东南大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种无电荷注入效应高可靠性电容式射频微机电系统开关
申请号	CN201110003700.2	申请日期	2011-01-10
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2011-08-24	公开/公告号	CN102163516A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01H36/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01H 电开关；继电器；选择器；紧急保护装置（接触电缆入H01B7/10；电解式自断续器入H01G9/18；紧急保护电路装置入H02H；无触点电子开关入H03K17/00） H01H36/00 由电场或磁场的变化操作的开关，如用改变开关和磁体的相对位置，用屏蔽作用操作的开关	IPC分类号	H01H36/00查看分类表>
申请人	东南大学	申请人地址	江苏省南京市四牌*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东南大学	当前权利人	东南大学
发明人	赵成;黄庆安
代理机构	南京苏高专利商标事务所（普通合伙）	代理人	柏尚春

摘要

一种无电荷注入效应高可靠性电容式射频微机电系统开关，在低损耗衬底上制作有作为射频传输线的共面波导，其中心电极的中间部分覆盖有一层绝缘介质薄膜，其上横跨有开关膜桥，膜桥两端为制作在共面波导地电极上的可动偏置电极，其外侧有固定偏置电极，膜桥和可动偏置电极均采用软质电镀金制作。采用软质金膜桥，膜桥自然下垂而与共面波导中心电极上的绝缘介质薄膜接触，实现开关的关态，而通过在可动偏置电极和固定偏置电极间施加侧向偏置电压，使软质金可动偏置电极向外侧偏移，张紧膜桥，使膜桥中间下垂部分脱离绝缘介质薄膜并向上偏移一定高度而实现开关的开态，避免了为实现并维持开关的关态而施加的纵向偏置电压所产生的电荷注入效应，提高了开关的可靠性。

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