具有集成导电屏蔽的微型机电装置

发明专利无效专利

申请号：
CN03819538.0
IPC分类号：--
申请日期：
2003-06-16
申请人：
霍尼韦尔国际公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	具有集成导电屏蔽的微型机电装置
申请号	CN03819538.0	申请日期	2003-06-16
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2005-09-28	公开/公告号	CN1675124
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	霍尼韦尔国际公司	申请人地址	美国新泽西州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	霍尼韦尔国际公司	当前权利人	霍尼韦尔国际公司
发明人	T·G·斯特拉顿;C·H·拉恩;G·R·加纳
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	崔幼平

摘要

本发明提供一种微型机电装置及其制造方法，包括插在适合的装置元件层之间的具有图案的金属或者机械质量、掺杂多晶硅层，从而可提供导电层以防止微型机电装置输出漂移。导电层可形成该装置元件导电基本完整的封装或者可选择性地覆盖某些装置元件。另外，金属或者机械质量、掺杂多晶硅和与该装置衬底触点相同的电压源接合可使得导电层经受衬底的电压。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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