超高纯六氟乙烷的制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201310004328.6
IPC分类号：C07C19/08C07C17/389
申请日期：
2013-01-06
申请人：
中化蓝天集团有限公司;浙江蓝天环保高科技股份有限公司

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著录项信息

专利名称	超高纯六氟乙烷的制备方法
申请号	CN201310004328.6	申请日期	2013-01-06
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-07-09	公开/公告号	CN103910599A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C07C19/08 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C07 有机化学〔2〕 C07C 无环或碳环化合物（高分子化合物入C08；有机化合物的电解或电泳生产入C25B 3/00，C25B 7/00） C07C19/00 含有卤原子的无环饱和化合物〔5〕 C07C19/08 含有氟	IPC分类号	C07C19/08;C07C17/389查看分类表>
申请人	中化蓝天集团有限公司;浙江蓝天环保高科技股份有限公司	申请人地址	浙江省杭州市滨江区江南大道*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中化蓝天集团有限公司,浙江蓝天环保高科技股份有限公司	当前权利人	中化蓝天集团有限公司,浙江蓝天环保高科技股份有限公司
发明人	李盛姬;柳彩波;刘武灿
代理机构	浙江杭州金通专利事务所有限公司	代理人	刘晓春

摘要

本发明提供了一种吸附法制备超高纯六氟乙烷的方法，采用选自3A型分子筛、4A型分子筛、5A型分子筛、NaX型分子筛、CaX型分子筛和活性炭中的一种、两种或三种以上组合的吸附剂脱除六氟乙烷粗品中的杂质，所述吸附剂在吸附前经活化处理。制备的六氟乙烷纯度可达99.999%甚至99.9999%及以上，制备的超高纯六氟乙烷可用作半导体/电子工业的刻蚀气体/清洗气体。

喷附仪

实用新型

超高纯六氟乙烷的制备方法

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