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用于化学气相沉积工艺的喷淋头

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201220176073.2
  • IPC分类号:C23C16/455
  • 申请日期:
    2012-04-23
  • 申请人:
    光达光电设备科技(嘉兴)有限公司
著录项信息
专利名称用于化学气相沉积工艺的喷淋头
申请号CN201220176073.2申请日期2012-04-23
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/455IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;5查看分类表>
申请人光达光电设备科技(嘉兴)有限公司申请人地址
浙江省嘉兴市海盐县盐北路211号科创园西区1号楼3楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人光达光电设备科技(嘉兴)有限公司当前权利人光达光电设备科技(嘉兴)有限公司
发明人梁秉文
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)代理人郑玮
摘要
本实用新型提供一种用于化学气相沉积工艺的喷淋头,所述喷淋头用于向衬底提供反应气体,所述喷淋头具有端口,所述端口具有与之对应设置的窗口透明板,所述窗口透明板作为观察通道或测试通道,通过所述窗口透明板对化学气相沉积工艺进行监控,所述窗口透明板与端口之间通有吹扫气体,所述吹扫气体用于防止反应气体在窗口透明板上发生化学反应或物理沉积。本实用新型使得本领域技术人员能够在化学气相沉积工艺过程中对喷淋头下方的衬底的情况进行实时监控。

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