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一体式阴极盖板控制面板

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201820313305.1
  • IPC分类号:C23C14/35;C23C14/54
  • 申请日期:
    2018-03-07
  • 申请人:
    河北物华天宝镀膜科技有限公司
著录项信息
专利名称一体式阴极盖板控制面板
申请号CN201820313305.1申请日期2018-03-07
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/35IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;5;4查看分类表>
申请人河北物华天宝镀膜科技有限公司申请人地址
河北省廊坊市固安县工业园区北区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人河北物华天宝镀膜科技有限公司当前权利人河北物华天宝镀膜科技有限公司
发明人杨宏斌;冷庆吉;齐丽婧;郭仙;柳丽丽;李忠祥
代理机构北京挺立专利事务所(普通合伙)代理人倪钜芳
摘要
本实用新型涉及阴极设备技术领域,具体是一体式阴极盖板控制面板包括:面板背板、监控器、冷却水快接头、工艺气体快接头、通讯接口、控制快插接口及高压快插接口,本实用新型实施例提供的一体式阴极盖板控制面板,将磁控溅射阴极盖板的各外部连接端有机集中到一块面板上,方便生产过程中的检查,并且最大限度的使复杂的阴极盖板简洁化;所有接口采用快插式接口,简化了在开腔检查过程中阴极盖板的装卸步骤,同时将通讯接口与控制接口分开处理最大限度保证系统通讯的稳定性,本实用新型能够将外部的连接端有效集中并进行分区的集成化控制面板,结构简单,设计合理。

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