一种可同时测量滚转角和直线度的双频激光干涉仪

发明专利有效专利

申请号：
CN201910728477.4
IPC分类号：G01B11/26;G01B11/27;G01B9/02
申请日期：
2019-08-08
申请人：
北京市普锐科创科技有限责任公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种可同时测量滚转角和直线度的双频激光干涉仪
申请号	CN201910728477.4	申请日期	2019-08-08
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-11-29	公开/公告号	CN110514147A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/26 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/26 用于计量角度或锥度；用于检测轴线准直	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;6;;;G;0;1;B;1;1;/;2;7;;;G;0;1;B;9;/;0;2查看分类表>
申请人	北京市普锐科创科技有限责任公司	申请人地址	北京市海淀区上地开拓路7号先锋大厦1202室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京市普锐科创科技有限责任公司	当前权利人	北京市普锐科创科技有限责任公司
发明人	蒋弘;吴健
代理机构	北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司	代理人	高丽萍

摘要

本发明公开一种可同时测量滚转角和直线度的双频激光干涉仪，包括双频激光头和中性分光镜，在中性分光镜透射或反射形成的第一测量光路上依次设置第一偏光分束镜、第二偏光分束镜和基准反射镜，在中性分光镜反射或透射形成的第二测量光路上依次设置平面反射镜以及第一偏光分束镜、第二偏光分束镜和基准反射镜，第二偏光分束镜、第一偏光分束镜和第一偏振光电接收器/第二偏振光电接收器还依次位于第一测量光路/第二测量光路从基准反射镜反射后返回光的光路上。本发明能同时完成滚转角和直线度的的测量，不仅光学零件数目减少，而且调整过程的工作量减半，而且可以消除由于第一测量光和第二测量光不平行所引起的滚转角误差，使测量精度大大提升。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供