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一种用于硅片分离的风刀装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202020362258.7
  • IPC分类号:H01L31/18
  • 申请日期:
    2020-03-20
  • 申请人:
    罗博特科智能科技股份有限公司
著录项信息
专利名称一种用于硅片分离的风刀装置
申请号CN202020362258.7申请日期2020-03-20
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/18IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人罗博特科智能科技股份有限公司申请人地址
江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人罗博特科智能科技股份有限公司当前权利人罗博特科智能科技股份有限公司
发明人吴廷斌;张学强;张建伟;罗银兵
代理机构苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)代理人张荣
摘要
本实用新型公开了一种用于硅片分离的风刀装置,该装置包括本体、限位板和导流板,本体内设有型腔,型腔内设有贯穿至型腔外壁的通气孔;限位板围设于型腔周围;导流板装配于本体上,导流板、限位板与本体配合形成与型腔连通的气流缝隙。本实用新型用于硅片分离的风刀装置可实现硅片的分离作业,避免对硅片产生损伤,该装置结构合理,调节方便,可通过更换不同厚度的限位板实现对气流缝隙的调节,同样适用其他工况。

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