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一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910663911.5
  • IPC分类号:B22F3/02;B22F3/14;B22F7/02;B22F3/24
  • 申请日期:
    2019-07-23
  • 申请人:
    金堆城钼业股份有限公司
著录项信息
专利名称一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法
申请号CN201910663911.5申请日期2019-07-23
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-10-01公开/公告号CN110293223A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B22F3/02IPC分类号B;2;2;F;3;/;0;2;;;B;2;2;F;3;/;1;4;;;B;2;2;F;7;/;0;2;;;B;2;2;F;3;/;2;4查看分类表>
申请人金堆城钼业股份有限公司申请人地址
陕西省西安市高新技术产业开发区锦业一路88号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人金堆城钼业股份有限公司当前权利人金堆城钼业股份有限公司
发明人朱琦;席莎;张菊平;王娜;安耿;武洲;何凯;崔玉青
代理机构西安创知专利事务所代理人马小燕
摘要
本发明公开了一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法,该方法包括:一、向蝶形石墨模具的筒体与下模组成的腔体内装填Mo‑W粉末,采用上模预压形成钼钨粉层;二、向钼钨粉层上装填钨粉形成钨粉层,然后盖上上模进行真空热压烧结,得蝶形钼钨双金属复合旋转靶粗品;三、将蝶形钼钨双金属复合旋转靶粗品进行热处理,经机加工得蝶形钼钨双金属复合旋转靶。本发明采用Mo‑W粉末作为复合旋转靶的基体材料,有效提高了复合旋转靶中靶面与基体的结合强度,避免了使用过程中靶面与基体的开裂分层,延长了复合旋转靶的使用寿命,解决了钼钨金属复合靶的复合压制分层和烧结以及锻打开裂问题,且提高了复合旋转靶的一次成形成品率。

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