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*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

石英晶片干燥烘箱

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201020648021.1
  • IPC分类号:F26B9/06;F26B23/04
  • 申请日期:
    2010-12-08
  • 申请人:
    郑州原创电子科技有限公司
著录项信息
专利名称石英晶片干燥烘箱
申请号CN201020648021.1申请日期2010-12-08
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号F26B9/06IPC分类号F;2;6;B;9;/;0;6;;;F;2;6;B;2;3;/;0;4查看分类表>
申请人郑州原创电子科技有限公司申请人地址
河南省郑州市经济技术开发区第五大街129号高科技工业园2号楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人郑州原创电子科技有限公司当前权利人郑州原创电子科技有限公司
发明人张积武
代理机构郑州红元帅专利代理事务所(普通合伙)代理人徐皂兰
摘要
本实用新型公开了一种石英晶片干燥烘箱,包括箱体,在箱体内设置红外线灯泡,其中,在箱体外还设置有第二箱体,所述箱体与第二箱体间留有空腔,在空腔内设置电加热丝,氮气经管道由风机送入箱体内,所述红外线灯泡、电加热丝均与温控装置连接。本实用新型采用了红外线灯泡和电加热丝作为双重热源,同时吹拂高纯氮气,具有升温快,温度恒稳,干燥迅速,晶片表面清洁无污染等特点,能除去晶片表面残留的水、酒精等液体,且不残留类似水渍样物质,达到了快速去除酒精、无残留的效果。

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