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一种涂胶显影腔体温湿度控制系统

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201721872684.X
  • IPC分类号:G03F7/16
  • 申请日期:
    2017-12-27
  • 申请人:
    德淮半导体有限公司
著录项信息
专利名称一种涂胶显影腔体温湿度控制系统
申请号CN201721872684.X申请日期2017-12-27
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/16IPC分类号G;0;3;F;7;/;1;6查看分类表>
申请人德淮半导体有限公司申请人地址
江苏省淮安市淮阴区长江东路599号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人德淮半导体有限公司当前权利人德淮半导体有限公司
发明人刘庆超;黄志凯
代理机构上海光华专利事务所(普通合伙)代理人余明伟
摘要
本实用新型提供一种涂胶显影腔体温湿度控制系统包括:过滤器、毛细管翅片式冷却装置、加湿器、加热器、风机、风管及涂胶显影腔体;采用水冷毛细管翅片式冷却装置,其生产运营成本较低、设备故障率较低、由设备故障所产生的检修费用及停机时间减少,从而可达到提高生产效率、降低生产成本以及节约资源的目的。

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