激光退火设备的光束检测装置及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202011643342.7
IPC分类号：G01J1/00;G01J1/04;G01B21/08;G01B21/20;C30B33/02
申请日期：
2020-12-30
申请人：
中国科学院微电子研究所

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法律信息

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著录项信息

专利名称	激光退火设备的光束检测装置及方法
申请号	CN202011643342.7	申请日期	2020-12-30
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-05-25	公开/公告号	CN112834027A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01J1/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01J 红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分，偏振、相位或脉冲特性的测量；比色法；辐射高温测定法〔2〕 G01J1/00 光度测定法，例如照相的曝光表（分光光度测定法入G01J 3/00；专用于辐射高温测定法的入G01J 5/00）	IPC分类号	G;0;1;J;1;/;0;0;;;G;0;1;J;1;/;0;4;;;G;0;1;B;2;1;/;0;8;;;G;0;1;B;2;1;/;2;0;;;C;3;0;B;3;3;/;0;2查看分类表>
申请人	中国科学院微电子研究所	申请人地址	北京市朝阳区北土城西路3号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院微电子研究所	当前权利人	中国科学院微电子研究所
发明人	王瑜;侯煜;岳嵩;王然;张紫辰
代理机构	北京兰亭信通知识产权代理有限公司	代理人	陈晓瑜

摘要

本发明提供一种激光退火设备的光束检测装置，包括：激光发生器，用于产生能沿退火加工路径进行移动的激光束；光斑形貌检测仪，设置在所述激光束的光路上，所述激光束照射在所述光斑形貌检测仪上形成光斑，以使所述光斑形貌检测仪对所述光斑进行检测；三维运动平台，设置在工件台下方，所述三维运动平台与所述光斑形貌检测仪连接；所述三维运动平台能带动所述光斑形貌检测仪上升至晶圆加工时所处的第一平面，并带动所述光斑形貌检测仪在所述第一平面内沿所述退火加工路径与所述激光束同步运动。本发明能够准确的测量激光退火加工过程，从而准确的获得光斑参数。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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