一种砷化镓单晶炉电气控制系统

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201920807111.1
IPC分类号：G05B19/042
申请日期：
2019-05-31
申请人：
独山中科晶元信息材料有限公司

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著录项信息

专利名称	一种砷化镓单晶炉电气控制系统
申请号	CN201920807111.1	申请日期	2019-05-31
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G05B19/042 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G05 控制；调节 G05B 一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置（应用流体作用的一般流体压力执行器或系统入F15B；阀门本身入F16K；仅按机械特征区分的入G05G；传感元件见相应小类，例如G12B，G01、H01的小类；校正单元见相应的小类，例如H02K） G05B19/00 程序控制系统（特殊应用见有关位置，例如A47L 15/46；附带或内装有在预定时间间隔操作任一器件的装置的时钟入G04C 23/00；记录或读取数字信息的记录载体入G06K；信息存储器入G11；在程序执行完了后自动终止其运行的时间或时间程序开关入H01H 43/00） G05B19/02 电的 G05B19/04 除数字控制外的程序控制，即顺序控制器或逻辑控制器（G05B 19/418优先；数字控制入G05B 19/18） G05B19/042 使用数字处理装置（G05B 19/05优先）〔6〕	IPC分类号	G;0;5;B;1;9;/;0;4;2查看分类表>
申请人	独山中科晶元信息材料有限公司	申请人地址	贵州省黔南布依族苗族自治州独山县麻万镇麻抹组独山中科晶元变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	独山中科晶元信息材料有限公司	当前权利人	独山中科晶元信息材料有限公司
发明人	代晓波
代理机构	北京轻创知识产权代理有限公司	代理人	谈杰

摘要

本实用新型公开了一种砷化镓单晶炉电气控制系统，包括中心控制部分、运动控制部分、气体控制部分、温度控制部分、水路检测部分和操作面板，所述运动控制部分、气体控制部分、温度控制部分、水路检测部分和操作面板分别与所述中心控制部分相连，所述温度控制部分包括多流道温度调节器和加热器；其中，所述多流道温度调节器内部含有输出压力不同的若干条水流通道。有益效果在于：通过采用多流道温度调节器，可通过控制水流通过不同的流道，控制水流的流速，从而对应不同的升温速度，控制操作简单；通过多流道温度控制器，可在需要不同升温速度时，开启对应的流道，可防止增压设备常开，更加节能。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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