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半导体制造用静电夹盘用吸着板

外观设计专利无效专利

申请号：
CN03310592.8
LOC分类号：--
申请日期：
2003-05-20
申请人：
东京毅力科创株式会社

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	半导体制造用静电夹盘用吸着板
申请号	CN03310592.8	申请日期	2003-05-20
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	LOC分类号	暂无查看分类表>
申请人	东京毅力科创株式会社	申请人地址	日本国东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东京毅力科创株式会社	当前权利人	东京毅力科创株式会社
发明人	上田雄大
代理机构	北京纪凯知识产权代理有限公司	代理人	龙淳

摘要

1.因仰视图、左视图分别与俯视图、右视

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