一种真空干燥装置、显示用基板的制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201910041637.8
IPC分类号：H01L51/56;B41J11/00
申请日期：
2019-01-16
申请人：
京东方科技集团股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种真空干燥装置、显示用基板的制备方法
申请号	CN201910041637.8	申请日期	2019-01-16
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-05-28	公开/公告号	CN109817842A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L51/56 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L51/20 （转入H01L 51/05，H01L 51/42，H01L 51/50） H01L51/50 专门适用于光发射的，如有机发光二极管（OLED）或聚合物发光器件（PLED）（有机半导体激光器入 H01S 5/36）〔8〕 H01L51/56 专门适用于制造或处理这种器件或其部件的方法或设备〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;5;1;/;5;6;;;B;4;1;J;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人	京东方科技集团股份有限公司	申请人地址	北京市朝阳区酒仙桥路10号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	京东方科技集团股份有限公司	当前权利人	京东方科技集团股份有限公司
发明人	胡春静;侯文军
代理机构	北京中博世达专利商标代理有限公司	代理人	申健

摘要

本发明实施例提供一种真空干燥装置、显示用基板的制备方法，涉及显示技术领域，可以使冷凝板上液体流入槽体中，避免现有技术中液化后的液体再次滴到待干燥物上，影响待干燥物的性能。一种真空干燥装置，包括腔体、设置于所述腔体的顶壁上的冷凝板；所述冷凝板包括多个间隔设置且向所述腔体的底部凸出的凸起；所述真空干燥装置还包括多个槽体，每个所述槽体与一个所述凸起对应且二者正对设置，所述槽体的开口朝向所述冷凝板；所述槽体与所述冷凝板之间具有间距。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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