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模块化过滤系统

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201280048928.6
  • IPC分类号:B01D29/07
  • 申请日期:
    2012-10-03
  • 申请人:
    恩特格里斯公司
著录项信息
专利名称模块化过滤系统
申请号CN201280048928.6申请日期2012-10-03
法律状态放弃专利权申报国家中国
公开/公告日2014-06-11公开/公告号CN103857452A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B01D29/07IPC分类号B;0;1;D;2;9;/;0;7查看分类表>
申请人恩特格里斯公司申请人地址
美国马萨诸塞州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人恩特格里斯公司当前权利人恩特格里斯公司
发明人约翰·P·普利亚;路易斯·小巴罗斯;克里斯托弗·约翰·洛;本·迈白·李;马克·拉凡迪尔
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司代理人齐杨
摘要
本发明涉及一种模块化过滤系统,其使用可移除过滤器卡匣来过滤包含(例如)用于半导体制造中的液体的液体。过滤系统可包含:可移除过滤器卡匣,其具有过滤器入口端口及过滤器出口端口;过滤器卡匣固持器,其经配置以接纳及保持所述过滤器卡匣;及主组合件。所述主组合件可进一步包括经配置以接纳所述过滤器入口端口的过滤器入口界面端口及经配置以接纳所述过滤器出口端口的过滤器出口界面端口,且可界定流径以引导进出所述过滤器卡匣的流动。所述过滤器卡匣固持器可移动地耦合到所述主组合件,使得所述过滤器卡匣可相对于所述主组合件从未配接位置移动到配接位置。

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