一种晶圆涂胶治具

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201821551414.3
IPC分类号：B05C13/02
申请日期：
2018-09-21
申请人：
锐捷芯盛（天津）电子科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种晶圆涂胶治具
申请号	CN201821551414.3	申请日期	2018-09-21
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B05C13/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B05 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕 B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置（喷射装置、雾化装置、喷嘴入B05B；把液体或其他流体涂布于物体上的静电喷射装置入B05B 5/08）〔2〕 B05C13/00 操纵或夹持工件的方法，如对单个物体〔2〕 B05C13/02 对特殊物品〔2〕	IPC分类号	B;0;5;C;1;3;/;0;2查看分类表>
申请人	锐捷芯盛（天津）电子科技有限公司	申请人地址	天津市滨海新区华苑产业区梅苑路9号2号楼2门502 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	锐捷芯盛（天津）电子科技有限公司	当前权利人	锐捷芯盛（天津）电子科技有限公司
发明人	杨光宇
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种晶圆涂胶治具，包括伺服电机、抽气泵、底座和架体，所述底座的顶端安装有架体，且底座顶端中间位置处架体的内部安装有基座，所述架体底部的两端皆设置有立柱，所述基座内部底端的中间位置处安装有伺服电机，且基座顶端的中间位置处安装有旋转盘，所述伺服电机的输出端通过转轴与旋转盘连接，且旋转盘内部底端的中间位置处安装有抽气泵，所述旋转盘底部的两端皆设置有第一滑块，且基座的顶端设置有与第一滑块配合的第一滑槽。本实用新型通过安装有架体、底座、卡块、卡槽和防滑硅胶垫，使得该装置便于根据使用者的需求进行整体的拼接和拆卸，从而优化了自身的结构，增强了装置的功能性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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