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一种蒸发源

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110321264.7
  • IPC分类号:C23C14/24
  • 申请日期:
    2021-03-25
  • 申请人:
    南京昀光科技有限公司
著录项信息
专利名称一种蒸发源
申请号CN202110321264.7申请日期2021-03-25
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-07-02公开/公告号CN113061848A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/24IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;2;4查看分类表>
申请人南京昀光科技有限公司申请人地址
江苏省南京市江宁区梅林街18号(江宁开发区) 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人南京昀光科技有限公司当前权利人南京昀光科技有限公司
发明人张久杰;季渊
代理机构北京品源专利代理有限公司代理人孟金喆
摘要
本发明实施例提供一种蒸发源,该蒸发源包括坩埚、加热丝和多个半导体制冷片;所述加热丝围绕所述坩埚分布,多个所述半导体制冷片设置于所述加热丝远离所述坩埚的一侧,且多个所述半导体制冷片沿环绕所述坩埚的方向依次排列;每一所述半导体制冷片包括冷端和热端,所述冷端用于制冷,所述热端用于制热;所述半导体制冷片包括第一制冷片和第二制冷片,所述第一制冷片的冷端设置于邻近所述坩埚的一侧,所述第二制冷片的热端设置于邻近所述坩埚的一侧。本发明实施例提供的蒸发源,能够提高蒸发源的升温速率和降温速率。

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