一种磷源恒温设备

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202022943503.6
IPC分类号：H01L21/67;H01L31/18;G01N33/00;B65D25/02
申请日期：
2020-12-11
申请人：
李铁

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著录项信息

专利名称	一种磷源恒温设备
申请号	CN202022943503.6	申请日期	2020-12-11
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/67 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;G;0;1;N;3;3;/;0;0;;;B;6;5;D;2;5;/;0;2查看分类表>
申请人	李铁	申请人地址	黑龙江省佳木斯市向阳区永新社区38组66号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	李铁	当前权利人	李铁
发明人	李铁
代理机构	南京科知维创知识产权代理有限责任公司	代理人	许益民

摘要

本实用新型提供一种磷源恒温设备，包括外壳、恒温箱体和控制模块；还包括三氯氧磷气体检测探头和应急抽排风装置，三氯氧磷气体检测探头设于恒温箱体的内壁，用于对恒温箱体内部的三氯氧磷气体浓度进行检测，三氯氧磷气体检测探头与控制模块电连接；应急抽排风装置包括漩涡气泵，漩涡气泵与控制模块电连接。本实用新型的磷源恒温设备设置三氯氧磷气体检测探头，用于检测恒温箱体内的三氯氧磷气体浓度，当三氯氧磷气体浓度超限时系统发出报警信号；设置应急抽排风装置，用于在出现磷源泄漏情况时进行应急抽排风，将恒温箱体内的泄漏气体排至已连接的尾气处理系统中，从而保证使用安全。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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