高复现性光学元件面形检测支撑装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201410187136.8
IPC分类号：G01B21/20
申请日期：
2014-05-05
申请人：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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专利名称	高复现性光学元件面形检测支撑装置
申请号	CN201410187136.8	申请日期	2014-05-05
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-08-06	公开/公告号	CN103968796A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B21/20 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B21/00 不适合于本小类其他组中所列的特定类型计量装置的计量设备或其零部件〔3〕 G01B21/20 用于计量轮廓或曲率，例如测定外形〔3〕	IPC分类号	G;0;1;B;2;1;/;2;0查看分类表>
申请人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	申请人地址	吉林省长春市东南湖大路3888号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	当前权利人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发明人	王辉;周烽;郭本银;谢耀;王丽萍;金春水
代理机构	长春菁华专利商标代理事务所（普通合伙）	代理人	王丹阳

摘要

高复现性光学元件面形检测支撑装置，属于光学元件干涉检测技术领域。解决了现有技术中检测支撑装置和光学元件间存在接触副摩擦力，导致光学元件检测状态和最终使用状态不同的技术问题。本发明的支撑装置包括支撑盘和设置在支撑盘上的相同的支撑单元，支撑盘上设有圆形通孔和沿圆形通孔周向分布的至少三个相同的凹槽；凹槽相对的两个面上对称且平行设置有四片相同的柔性铰链；支撑单元包括球面凸台和两组相同的轴承结构；轴承结构包括轴承、销轴和销轴压板，轴承通过销轴和销轴压板固定在相对的两片柔性铰链上；球面凸台固定在光学元件的外圆周面上。本发明的支撑装置能够实现极高的面形复现性且对支撑的光学元件的受热和振动影响极小。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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