掺铟混晶锌扩散源

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专利名称	掺铟混晶锌扩散源
申请号	CN88102204.7	申请日期	1988-04-11
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	1989-11-08	公开/公告号	CN1037051
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	吉林大学	申请人地址	吉林省长春市解放大路83号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	吉林大学	当前权利人	吉林大学
发明人	杜国同;马晓宇
代理机构	吉林大学专利事务所	代理人	崔丽娟

摘要

本发明为一种制造半导体器件的专用材料。掺铟混晶锌扩散源是一种制造GaAs、(AlGa)As材料半导体器件用的Zn杂质扩散源。这种扩散源是把In、Zn、As三种单质，也可用In、Zn、Ga，As四种单质加热化合(混合)成三元、四元混晶。其优点是欧姆接触比电阻低，使用、配制方便，扩散速度易控制。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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