一种利用准分子激光提高柔性AZO薄膜光电性能的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201210585439.6
IPC分类号：C23C14/58;C23C14/08
申请日期：
2012-12-28
申请人：
中国科学院安徽光学精密机械研究所

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专利名称	一种利用准分子激光提高柔性AZO薄膜光电性能的方法
申请号	CN201210585439.6	申请日期	2012-12-28
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2013-05-01	公开/公告号	CN103074593A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/58 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/58 后处理〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;5;8;;;C;2;3;C;1;4;/;0;8查看分类表>
申请人	中国科学院安徽光学精密机械研究所	申请人地址	安徽省合肥市蜀山湖路350号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院安徽光学精密机械研究所	当前权利人	中国科学院安徽光学精密机械研究所
发明人	邵景珍;方晓东;董伟伟;邓赞红
代理机构	安徽合肥华信知识产权代理有限公司	代理人	余成俊

摘要

本发明公开了一种利用准分子激光提高柔性AZO薄膜光电性能的方法，利用准分子激光器对柔性铝掺杂氧化锌（简称AZO）薄膜进行激光退火，从而提高其光电性能的方法。该方法包括首先利用脉冲激光沉积等方法在柔性衬底上生长一层AZO薄膜，接着利用准分子激光退火装置对该薄膜进行退火。本发明的特点是高功率脉冲激光束照射到AZO薄膜上，在极端的时间内薄膜表面达到很高的温度且不损伤柔性衬底材料，提高了薄膜的结晶程度，大幅度降低了薄膜的电阻率，使薄膜的光电性能得到改善。

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