一种催化及热导集成气体传感器的制造方法、传感器及工作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201810503083.4
IPC分类号：G01N27/16;G01N27/18
申请日期：
2018-05-23
申请人：
哈尔滨工程大学;重庆海士测控技术有限公司

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专利名称	一种催化及热导集成气体传感器的制造方法、传感器及工作方法
申请号	CN201810503083.4	申请日期	2018-05-23
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-10-02	公开/公告号	CN108614015A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N27/16 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N27/00 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 25/00优先；电或磁变量的测量或试验，材料的电磁性能的测试或试验入G01R） G01N27/02 通过测试阻抗 G01N27/04 通过测试电阻 G01N27/14 依赖于温度变化的电热体的电阻 G01N27/16 由于被试环境物质如气体的燃烧或催化氧化引起的电阻	IPC分类号	G;0;1;N;2;7;/;1;6;;;G;0;1;N;2;7;/;1;8查看分类表>
申请人	哈尔滨工程大学;重庆海士测控技术有限公司	申请人地址	黑龙江省哈尔滨市南岗区南通大街145号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	哈尔滨工程大学,重庆海士测控技术有限公司,重庆海士智能科技研究院有限公司	当前权利人	哈尔滨工程大学,重庆海士测控技术有限公司,重庆海士智能科技研究院有限公司
发明人	张洪泉;张凯;安文斗
代理机构	哈尔滨市伟晨专利代理事务所（普通合伙）	代理人	李晓敏

摘要

一种催化及热导集成气体传感器的制造方法、传感器及工作方法，属于传感器技术领域。技术要点：利用原位生长氧化铝制造出传感器基片，在其上形成催化敏感单元、催化补偿单元、热导补偿单元，催化补偿单元同时兼有热导敏感单元功能。通过薄膜溅射和干法刻蚀工艺形成金属铂薄膜加热敏感电阻，通过蒸发和湿法刻蚀工艺形成金属镍铬薄膜桥路电阻，然后封装。工作模式：催化敏感单元的惠斯通电桥，检测被测气体浓度，当其浓度超过催化单元检测上限时，关闭催化单元的惠斯通电桥，启动热导单元的惠斯通电桥，检测被测气体的高浓度；当气体浓度下降到热导单元检测下限时，关闭热导单元的惠斯通电桥，启动催化单元的惠斯通电桥，实现高低浓度的气体检测。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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