MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统

发明专利有效专利

申请号：
CN202010410940.3
IPC分类号：G01D18/00;H03H11/04
申请日期：
2020-05-15
申请人：
中国科学院地质与地球物理研究所

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著录项信息

专利名称	MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统
申请号	CN202010410940.3	申请日期	2020-05-15
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2020-08-21	公开/公告号	CN111561958A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01D18/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01D 非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试 G01D18/00 测试或校准大组G01D 1/00至G01D 15/00中列入的设备或装置	IPC分类号	G;0;1;D;1;8;/;0;0;;;H;0;3;H;1;1;/;0;4查看分类表>
申请人	中国科学院地质与地球物理研究所	申请人地址	北京市朝阳区北土城西路19号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院地质与地球物理研究所	当前权利人	中国科学院地质与地球物理研究所
发明人	李宗伟;周永建;张潇筱;刘婧;孟海龙;杨长春;韩可都;冯方方
代理机构	北京众达德权知识产权代理有限公司	代理人	何蓉

摘要

本发明公开了一种MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统，所述MEMS传感器检测装置包括前置放大器、环路滤波器以及反馈电路，还包括设置在所述前置放大器之后的HL型滤波器，所述前置放大器、所述环路滤波器以及所述HL型滤波器串联；所述HL型滤波器对低频段信号具有高通滤波功能，所述HL型滤波器对高频段信号具有低通滤波功能。本发明提供的MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统，能够有效改善MEMS传感器低频噪声性能，提高系统精度，拓宽MEMS传感器系统带宽。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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