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蒸发镀膜工艺中的圆片固定装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510806316.4
  • IPC分类号:C23C14/50;C23C14/24
  • 申请日期:
    2015-11-20
  • 申请人:
    苏州赛森电子科技有限公司
著录项信息
专利名称蒸发镀膜工艺中的圆片固定装置
申请号CN201510806316.4申请日期2015-11-20
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-03-30公开/公告号CN105441897A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/50IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;5;0;;;C;2;3;C;1;4;/;2;4查看分类表>
申请人苏州赛森电子科技有限公司申请人地址
江苏省苏州市张家港市经济开发区港城大道与福新路交界西北侧 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州赛森电子科技有限公司当前权利人苏州赛森电子科技有限公司
发明人史进;伍志军
代理机构南京众联专利代理有限公司代理人顾进
摘要
本发明公开了一种蒸发镀膜工艺中的圆片固定装置,其包括有工作腔室,工作腔室上端部设置有固定台;所述固定台的轴线位置设置有吸附管道,其连通至设置在工作腔室外部的真空吸附泵;所述吸附管道包括有第一管道与第二管道,第一管道与真空吸附泵进行连接,第二管道与固定台进行连接,第二管道延伸至第一管道内部,第一管道与第二管道的连接位置设置有密封圈;所述第二管道之上设置有从动齿轮,工作腔室的上端部设置有与从动齿轮相啮合的主动齿轮,主动齿轮由电机进行驱动;采用上述技术方案,其可使得圆片在实现其旋转加工的同时,避免常规固定方式对其表面进行损坏。

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