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*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

一种可调节的激光接收端及VAD工艺设备

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201921459320.8
  • IPC分类号:C03B37/014
  • 申请日期:
    2019-09-03
  • 申请人:
    武汉智纤科技有限公司
著录项信息
专利名称一种可调节的激光接收端及VAD工艺设备
申请号CN201921459320.8申请日期2019-09-03
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C03B37/014IPC分类号C;0;3;B;3;7;/;0;1;4查看分类表>
申请人武汉智纤科技有限公司申请人地址
湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷二路219号鼎杰现代机电信息孵化园一期16号楼801室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人武汉智纤科技有限公司当前权利人武汉智纤科技有限公司
发明人张亮;甘发勇;沈文义;邹鑫鹏
代理机构武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙)代理人李斯
摘要
一种可调节的激光接收端及VAD工艺设备,涉及芯棒制造领域,激光接收端用于配合激光发射端定位靶棒端部初始位置,包括:底板,其固定安装于VAD工艺设备的沉积腔安装基座;连接柱,其一端垂直设置于所述底板;旋臂,其转动设置于所述连接柱的另一端,所述旋臂安装有激光接收器;当所述旋臂处于第一位置时,所述激光接收器接收到所述激光发射端发射的激光束,且激光束所在的直线是所述旋臂带动激光接收器转动轨迹的切线;VAD工艺设备安装有上述激光接收端;本实用新型使得激光接收端的调节工作变得操作简便、高效省力且能准确恢复至原位。

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