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流量传感器及其制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200810092873.4
  • IPC分类号:G01F1/684
  • 申请日期:
    2008-05-07
  • 申请人:
    株式会社山武
著录项信息
专利名称流量传感器及其制造方法
申请号CN200810092873.4申请日期2008-05-07
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2009-03-25公开/公告号CN101393045
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01F1/684IPC分类号G01F1/684查看分类表>
申请人株式会社山武申请人地址
日*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社山武当前权利人株式会社山武
发明人池信一;畠山洋志;土屋诚志
代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人陈坚
摘要
本发明提供流量传感器及其制造方法,该传感器通过将传感器芯片和流道形成部件接合起来而构成,传感器芯片在基的上表面形成有流量检测部;流道形成部件设置在传感器芯片上,并形成有流过流量检测部的流体的流道,将透明的第一和第二流道形成部件接合起来以形成流道形成部件,第一流道形成部件构成为板状,在其上设有被测定流体的导入孔和导出孔,第二流道形成部件构成为板状,在其上设有贯通口,贯通口形成沿着流体的流动的流道,该流体沿着流量检测部流动,使导入孔和导出孔与贯通口的两端连通,将流量检测部配置在贯通口的与导入孔和导出孔对应的部分之间,形成预定截面积的流道,从而提高了传感器流道的截面积的加工精度并使流量检测精度稳定。

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