镀膜装置

发明专利无效专利

申请号：
CN200910304589.3
IPC分类号：C23C14/56;C23C16/54
申请日期：
2009-07-21
申请人：
鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	镀膜装置
申请号	CN200910304589.3	申请日期	2009-07-21
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2011-02-02	公开/公告号	CN101962753A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/56 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/56 连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;5;6;;;C;2;3;C;1;6;/;5;4查看分类表>
申请人	鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司	申请人地址	广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	鸿富锦精密工业（深圳）有限公司,鸿海精密工业股份有限公司	当前权利人	鸿富锦精密工业（深圳）有限公司,鸿海精密工业股份有限公司
发明人	裴绍凯
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

一种镀膜装置，其包括一个支架，多个镀膜腔体，多个独立的传送带，多个转台，以及至少一个承载盘。所述多个镀膜腔体间隔设置在所述支架上，每个镀膜腔体包括一个舱门。所述多个传送带环绕所述每个镀膜腔体设置在所述支架上并延伸至每一个镀膜腔体的舱门外。所述多个转台分别设置在每两条相互独立的传送带之间。所述至少一个承载盘承载在所述传送带上，并在所述传送带的带动下依次进入所述多个镀膜腔体对承载在承载盘上的工件镀膜。本发明镀膜装置通过铺设在镀膜腔体外围并延伸至镀膜腔体的舱门前的传送带配合转台来实现承载盘在多个镀膜腔体之间的自动转换，从而使多个镀膜腔体彼此分开设置，避免了镀膜气体的污染从而提高了镀膜的质量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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