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一种防止气体反冲的装置以及金属有机化学气相沉积设备

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201220453130.7
  • IPC分类号:C23C16/44
  • 申请日期:
    2012-09-07
  • 申请人:
    中晟光电设备(上海)有限公司
著录项信息
专利名称一种防止气体反冲的装置以及金属有机化学气相沉积设备
申请号CN201220453130.7申请日期2012-09-07
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/44IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;4查看分类表>
申请人中晟光电设备(上海)有限公司申请人地址
上海市浦东新区张江高科技园区华佗路168号3幢B区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中晟光电设备(上海)股份有限公司当前权利人中晟光电设备(上海)股份有限公司
发明人李淼;金文彬;张伟;徐春阳;陈凯辉
代理机构上海信好专利代理事务所(普通合伙)代理人张静洁
摘要
本实用新型公开了一种防止气体反冲的装置以及金属有机化学气相沉积设备,该装置包含进气部分、和进气部分相连的主体部分、以及和主体部分相连的排气部分;进气部分内设有进气通道,主体部分内设有主体通道,排气部分内设有排气通道;主体通道分别与进气通道、排气通道相连通,以使气体进入进气通道后经过主体通道再由排气通道排出;主体通道内设有一组第一挡板和一组第二挡板,第一挡板和第二挡板相对设置。金属有机化学气相沉积设备包含反应腔,抽气泵和该防止气体反冲的装置。本实用新型在气流气压出现波动或者尾气端压力高于反应腔中压力时,阻止回流反冲的气体携带颗粒等反应副产物进入反应区域,保证反应区域的清洁。

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